透過電子顕微鏡（TEM）

日立ハイテク H-800
加速電圧　35~200kV
倍率範囲　1000~80万倍
電子回折　制限視野回折　400~2000nm
超高分散回折　10~100nm
高分解能回折　328.5nm
電子銃　6段加速方式、直流加熱方式、半固定バイアス方式

走査電子顕微鏡（SEM）

日立ハイテク S-570
二次電子分解能　3.5nm
倍率範囲　12倍~20万倍
加速電圧　0.5~30kV
試料サイズ　最大150nmΦ

電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）

日立ハイテク S-4700TypeⅡ
電子銃　冷陰極電界放出型
加速電圧　0.5~30kV
モーターステージ　5軸
二次電子検出器、反射電子検出器（YAG検出器）、EDX分析
試料サイズ　150ｍｍΦ