電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）

日立ハイテク SU8600
電子銃　冷陰極電界放出型
二次電子分解能　0.6nm＠15kV 0.7nm＠1kV
加速電圧　0.5~30kV
モーターステージ　5軸（XY:0～110mm　Z:1.5～40mm T:-5～70°）
二次電子検出器、半導体型反射電子検出器、
Oxford社製　EDS(ULTIM EXTREME ∞)、EBSD(SYMMETRY)装備

卓上SEM（TM-4000PlusⅢ）

日立ハイテク TM-1000PlusⅢ
倍率範囲　20~10万倍（写真倍率）
加速電圧　5kV,10kV,15kV,20kV
試料サイズ　最大:70ｍｍΦ、厚さ:50ｍｍ
画像信号　反射電子、二次電子、合成
EDS検出器　B～U

卓上SEM（TM-1000）

日立ハイテク TM-1000
倍率範囲　20~1万倍
加速電圧　15kV（固定）
試料サイズ　最大:70ｍｍΦ、厚さ:20ｍｍ